電子半導體行業的涂布生產潔凈間

一、潔凈等級設計規范

（一）設計規范

1. ISO 14644-1 Class 4（10級）核心區：≥0.1μm粒子≤352顆/m³

2. ISO 14644-1 Class 5（100級）緩沖區：≥0.1μm粒子≤3,520顆/m³

3. SEMI F1-0306標準：AMC控制≤10?? g/m³

（二）材料選擇

1. ULPA過濾器：H14級，過濾效率99.9995%@0.12μm

2. 墻面材料：304不銹鋼覆膜板，Ra≤0.4μm

（三）施工流程

1. 潔凈室分段封閉施工，正壓維持≥15Pa

2. FFU單元吊裝→高效過濾器安裝→風管連接

3. 粒子計數器實時監測施工環境

（四）驗收標準

1. 激光粒子計數器按ISO 14644-3檢測

2. 潔凈度測試點密度：每100㎡≥5點

二、平面布局設計規范

（一）設計規范

1. 單向流設計：涂布→預烘→固化直線布局

2. 人貨分流：人員通道≥1200mm，物料通道≥1800mm

3. 壓差梯度：涂布區(50Pa)→緩沖區(40Pa)→走廊(30Pa)

（二）材料選擇

1. 隔墻：不銹鋼板厚度≥0.8mm

2. 門窗：氣密型潔凈門，雙層鋼化玻璃窗

（三）施工流程

1. 放線定位→地槽安裝→墻板吊裝→頂板安裝

2. 圓弧角處理：R=50mm圓弧過渡

3. 傳遞窗安裝：VHP滅菌型，密封測試

（四）驗收標準

1. 壓差測試：相鄰區域≥5Pa

2. 氣流流型可視化測試（ISO 14644-4）

三、圍護結構施工標準

（一）設計規范

1. 墻面平整度：≤0.5mm/2m

2. 地面導靜電：電阻10?-10?Ω

3. 吊頂承重：≥150kg/m²

（二）材料選擇

1. 墻板：304不銹鋼覆膜板，厚度0.8-1.2mm

2. 地面：無溶劑導靜電環氧，厚度≥3mm

（三）施工流程

1. 基層處理：混凝土含水率≤4%

2. 銅箔鋪設：600mm×600mm網格

3. 環氧涂布：底涂→中涂→面涂（間隔24h）

4. 養護：72小時固化期

（四）驗收標準

1. 表面電阻測試：10?-10?Ω

2. 平整度：≤2mm/2m

四、空調通風系統

（一）設計規范

1. MAU+DDC+FFU系統：換氣次數≥500次/h

2. 溫濕度控制：22±0.3℃/45±2%RH

3. 排風系統：溶劑排放面風速0.45-0.55m/s

（二）材料選擇

1. 風管：304不銹鋼內壁電解拋光，Ra≤0.5μm

2. 高效過濾器：H14級ULPA，PAO檢漏率≥99.999%

（三）施工流程

1. 風管制作：激光切割→氬弧焊接→酸洗鈍化

2. 安裝：分段吊裝→密封測試→保溫施工

3. FFU安裝：水平度≤0.1%，風速均勻性≤±10%

（四）驗收標準

1. 風速測試：0.45±0.05m/s

2. PAO檢漏測試：泄漏率≤0.01%

五、電氣系統施工標準

（一）設計規范

1. 供電：雙回路+UPS，電壓波動≤±2%

2. 照度：≥800lux，均勻度≥0.7

3. EMI防護：傳導干擾≤60dBμV

（二）材料選擇

1. 線纜：阻燃無鹵低煙電纜，EMC屏蔽≥90dB

2. 插座：IEC 60309標準，IP54防護

（三）施工流程

1. 橋架安裝：水平度≤1mm/m

2. 線纜敷設：強弱電分離≥300mm

3. 接地系統：銅帶網格≤3m×3m

4. 照明安裝：無影燈均勻布置

（四）驗收標準

1. 接地電阻測試：≤1Ω

2. 照度測試：≥800lux

六、給排水及純水系統

（一）設計規范

1. 純水標準：電阻率≥18.2MΩ·cm，TOC≤1ppb

2. 排水坡度：≥1%，無死水段

3. 管道材質：316L EP級不銹鋼

（二）材料選擇

1. 純水管：316L EP級，Ra≤0.3μm

2. 閥門：隔膜閥，零死角設計

（三）施工流程

1. 軌道自動焊：內充氬氣保護

2. 內窺鏡檢查：無焊渣、無變色

3. 鈍化處理：硝酸濃度20%，溫度50℃

4. 沖洗：高純水循環沖洗≥8小時

（四）驗收標準

1. 水質檢測：電阻率≥18.2MΩ·cm

2. 內窺鏡檢查：符合ASME BPE標準

七、防微振控制標準

（一）設計規范

1. 振動等級：VC-E級（NIST-A110）

2. 振動速度：1-80Hz≤12.5μm/s

（二）材料選擇

1. 隔振器：主動式氣浮隔振系統

2. 基礎：C35混凝土，配筋率≥0.8%

（三）施工流程

1. 獨立基礎施工：1500mm厚混凝土筏板

2. 隔振溝安裝：深度≥1000mm，填充吸振材料

3. 設備基座：500kg/m³配重混凝土

4. 氣浮平臺安裝：水平度≤0.01mm/m

（四）驗收標準

1. 振動測試：三向加速度傳感器檢測

2. 頻譜分析：1-100Hz全頻段掃描

八、靜電防護系統

（一）設計規范

1. 表面電阻：10?-10?Ω（ANSI/ESD S20.20）

2. 靜電壓：≤100V（IEC 61340-5-1）

（二）材料選擇

1. 地坪：導靜電環氧，電阻10?-10?Ω

2. 工作臺：表面電阻10?-10¹?Ω

（三）施工流程

1. 接地網施工：銅箔網格≤600mm×600mm

2. 等電位聯結：設備接地電阻≤1Ω

3. 離子風機安裝：高度1.2-1.5m，間距≤6m

（四）驗收標準

1. 表面電阻測試：10?-10?Ω

2. 靜電場測試：≤100V

九、自動控制系統

（一）設計規范

1. BMS系統：實時監測溫濕度/壓差/粒子數

2. 報警響應：超標后≤10秒啟動應急程序

3. 數據記錄：1分鐘間隔存儲，保存≥5年

（二）材料選擇

1. 傳感器：±0.1℃精度溫度傳感器

2. PLC：冗余控制系統，MTBF≥100,000小時

（三）施工流程

1. 傳感器校準：NIST可溯源標準

2. 線纜敷設：雙絞線+金屬管屏蔽

3. 系統集成：MODBUS通訊協議

4. 調試：72小時連續運行測試

（四）驗收標準

1. 報警響應時間測試≤10秒

2. 數據記錄完整性≥99.99%

十、溫濕度控制標準

（一）設計規范

1. 溫度：22±0.3℃，梯度變化≤0.1℃/min

2. 濕度：45±2%RH，波動≤1%/h

3. 控制精度：±0.1℃/±1%RH（核心區）

（二）材料選擇

1. 傳感器：鉑電阻PT1000，精度±0.1℃

2. 加濕器：純蒸汽加濕，電導率≤1μS/cm

（三）施工流程

1. 傳感器定位：工藝點上方300mm

2. 風管保溫：PEF閉孔發泡，厚度≥30mm

3. 控制系統調試：PID參數整定

（四）驗收標準

1. 連續72小時溫濕度記錄

2. 波動范圍：±0.3℃/±2%RH